為了抓住和掌握TFT-LCD領域加工過程中各加工工序階段VOCs排放的特點,以中國某TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)為例,對VOCs在各生產(chǎn)車間的分布情況進行研究。研究結果表明:列陣車間VOCs濃度均值最大,波動范圍在4.14~11.19×10-6(1~12月)之間;彩色薄膜車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(1~12月)之間;列陣和CF車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(12月)之間;TFT-LCD車間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-12之間;列陣和CF車間VOCs濃度均值在TFT-LCD車間VOCs濃度均值揮發(fā)性有機物(VOCs)是產(chǎn)生細顆粒物(PM2.5)、活性氧(O3)等二次空氣污染物的重要前驅物質,對大氣環(huán)境造成了霧霾和光化學污染。VOCs不僅危害自然環(huán)境,而且對人體健康也有一定的危害。在此階段,我國早已成為世界電子產(chǎn)品消費大國,同時也是世界電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造基地。電子業(yè)TFT-LCD在整個生產(chǎn)加工過程中會使用到很多溶劑(如PGMEA、N-羥基甲酰胺、等離子等),導致?lián)]發(fā)性有機物大量排放,這類有機物成分非常復雜,主要成分的化學成分沒有國家職業(yè)質量標準的限值要求和檢測方法?,VOCs受到越來越多的關注。
對電子器件有機廢氣VOCs排放的一般特征進行了研究,探討了防止對策;對加工過程中電子設備的有機物排放進行了干燥研究,結果表明,與商品生產(chǎn)流水線排放不同的VOCs排放與車間有機廢氣的濃度差異很大;研究了凈化車間VOC的操作計劃方案,從根本上說明了減少VOCs排放的操作計劃方案;根據(jù)TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)VOCs排放研究,發(fā)現(xiàn)VOCs排放空氣污染物主要為丙二醇單甲醚冰醋酸酯及其少量揮發(fā)酚。目前我國對VOCs的研究大多處于宏觀經(jīng)濟階段,針對TFT-LCD加工各個工序VOCs濃度分布情況以及如何減少清潔車間VOCs排放的對策研究很少。
本文以一家TFT-LCD生產(chǎn)制造企業(yè)為例,研究了加工過程中各加工工藝VOCs濃度分布情況,并選擇沸石轉輪吸咐技術對清潔生產(chǎn)車間VOCs進行收集解決,對解決前后車間VOCs濃度進行對照分析,為事后明確提出減少VOCs的解決對策提供了相對依據(jù)。