對列陣、彩膜、成盒加工工藝進(jìn)行了剖析，生產(chǎn)車間每條產(chǎn)品都生產(chǎn)。

　　分布在3個車間中的線VOC濃度分布情況如下：(a)列陣車間。

　　(a)Arrayworkshop。

　　在1~12月進(jìn)行的中線濃度測試，其結(jié)果如圖3所示。結(jié)果表明，陣列和CF車間產(chǎn)線4個位點(diǎn)的濃度分布情況基本一致，VCD抽壓區(qū)(A4、B4)的VOCs濃度分布最大，且呈A3>A2>A1,B4>B3>B2>B1的趨勢；通過分析生產(chǎn)流程得知，陣列車間產(chǎn)線Robot1向Coater1排出大量的有機(jī)廢氣，排入Coater1進(jìn)行點(diǎn)膠，然后根據(jù)Robot2排入VCD1進(jìn)行減壓干躁，這一加工過程端會產(chǎn)生大量的有機(jī)廢氣，排入VOCs解決系統(tǒng)軟件，這是由于門與機(jī)器機(jī)殼合合時存在間隙，造成(A4)處VOCs自由散發(fā)，因此VCD1排出區(qū)域VOCs濃度大于Coater1。類似地，彩膜車間產(chǎn)線與列陣車間產(chǎn)線一樣，在VCD2抽壓區(qū)VOCs濃度比點(diǎn)膠區(qū)(Coater2)較大。成箱車間3個位置的VOCs濃度波動平穩(wěn)，產(chǎn)線VOCs分布較為均衡。

　　各加工工藝產(chǎn)線揮出的有機(jī)物，按照外擴(kuò)散法稀釋后，送到配對生產(chǎn)車間的每個角落，為掌握各主要生產(chǎn)車間的VOCs濃度狀況，根據(jù)我國《公共場所衛(wèi)生監(jiān)測技術(shù)規(guī)范》，選擇ppbRAE3000便攜式VOC氧氣檢測儀，對列陣、成盒、彩膜3個車間的全部VOCs濃度進(jìn)行1~12月的檢測，得到各車間VOCs均值分布，如圖4所示。3個車間的VOCs均值最大，波動范疇為(4.14~11.19)×10-6,3月份最高值為1.119×10-5；彩膜車間濃度次之，(4.56~9.70)×10-6；箱式車間濃度最低值為(1.96~7.88)×10-6。

　　在生產(chǎn)車間中，VOCs濃度受許多因素影響，如生產(chǎn)能力、膠料成分差異、機(jī)械設(shè)備密封性能差異、主要工藝參數(shù)差異等，這些因素都會導(dǎo)致產(chǎn)品VOCs濃度的波動。生產(chǎn)規(guī)模越大，點(diǎn)膠用量越大，清洗車間內(nèi)的VOCs濃度越高，其中，生產(chǎn)能力是關(guān)鍵影響因素。例如，三月份的生產(chǎn)能力比二月份提高了30%，圖4中的列陣、彩膜、盒式車間VOCs平均濃度分別提高了30%(2.05,1.90,1.15)×10-6。八月份成盒生產(chǎn)線VOC大幅下降的主要原因是八月份制造能力下降約5%。

　　列陣車間所用光刻膠成分比較單一，主要成分丙二醇單甲醚冰醋酸酯(PGMEA)占80%~90%，脲醛樹脂占5%~15%；成盒車間關(guān)鍵應(yīng)用的光刻膠成分比較復(fù)雜，有黑膠、紅藍(lán)綠(RGB)三色膠、OC膠、PS膠等，促使彩膜車間臭氣更重，特對其進(jìn)行科學(xué)研究。

　　用不同光刻技術(shù)對彩色膠片車間VOCs產(chǎn)線進(jìn)行檢測，結(jié)果見圖5,1~12月一年期間，林卡爾綠膠片產(chǎn)線VOCs平均濃度總體最大，波動范圍為(4.6~14.5)×10-6；紅膠片、藍(lán)膠片次之；黑膠片濃度總體最小，1~12月為(1.85~5.92)×10-6。

　　由表1可以看出，除含有丙二醇單甲醚冰醋酸酯、色漿、防腐劑、環(huán)氧樹脂等成分的翠綠色光刻膠中含有大量的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇單甲醚等化學(xué)物質(zhì)外，其他膠體均沒有這種化學(xué)成分，因此林卡綠膠產(chǎn)線的VOCs平均濃度較高很可能與這兩個成分有關(guān)；同時，對比紅、藍(lán)、黑三種色光刻膠的組成發(fā)現(xiàn)，其基礎(chǔ)化學(xué)成分基本一致，只有PGMEA等成分存在差異，黑膠的PGMEA含量比其它兩種膠體少許多，僅占35%~45%，而紅膠、藍(lán)膠的含量分別為65%~73%,70%~79%，從圖5中可以看出，丙二醇單甲醚冰醋酸酯的成分在潔凈區(qū)內(nèi)增長幅度最大。