OC膜點(diǎn)膠主要是提升一層，以便更好地平整。

　　防護(hù)層，PS光阻施膠主要是為了改善光透過(guò)狀況，提升?LCD飽和度。光刻工藝中，OC的主要組分為60%~80%的丙二醇甲醚冰醋酸和5%~30%的二乙二醇甲藥乙醚；而PS光刻工藝中，冰醋酸含量不到1%，乙二醇甲藥乙醚含量超過(guò)60%，以及10%~25%的智能單片(EEP)。PS膠和OC膠均含有兩種化學(xué)物質(zhì)，即丙二醇甲醚和乙二醇甲醚，其成分有很大差別，圖6表明，兩條生產(chǎn)線(xiàn)VOCs的平均濃度均處于較高水平，OC線(xiàn)整年平均濃度為(4.78~12.3)×10-6,PS線(xiàn)高些為(4.89~12.80)×10-6。結(jié)果表明：丙二醇甲醚冰乙酸和二乙二醇甲乙醚這兩種化學(xué)物質(zhì)對(duì)生產(chǎn)車(chē)間VOCs濃度均有很大的危害。

　　降低生產(chǎn)車(chē)間VOCs的關(guān)鍵環(huán)節(jié)依賴(lài)于源頭控制，當(dāng)無(wú)法根據(jù)替代物、尋找原料的低組成、環(huán)境污染小以及無(wú)法對(duì)生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)備進(jìn)行徹底封閉處理時(shí)，根據(jù)選擇的沸石吸咐機(jī)器設(shè)備對(duì)整個(gè)目標(biāo)區(qū)域的旋風(fēng)進(jìn)行收集，然后用沸石轉(zhuǎn)輪機(jī)器設(shè)備進(jìn)行集中運(yùn)輸，這是很好的選擇[15]。工程前期，首先對(duì)3條加工工藝生產(chǎn)線(xiàn)安裝沸石滾輪開(kāi)展示范點(diǎn)建設(shè)。圖7為選擇沸石吸咐的機(jī)器設(shè)備對(duì)總體目標(biāo)區(qū)域的氣旋進(jìn)行收集，然后根據(jù)沸石進(jìn)行吸咐解決，吸咐解決后清潔氣體立即排入潔凈室，部分清潔氣體通過(guò)電加熱器加熱后，按照再造離心風(fēng)機(jī)對(duì)沸石進(jìn)行高溫吸附，脫附后的高濃度有機(jī)廢氣排入平屋VOCs解決系統(tǒng)軟件進(jìn)行燃燒處理。柱式沸石吸咐設(shè)備的關(guān)鍵部位有4個(gè)區(qū)域：分離區(qū)域、再生區(qū)域、冷卻區(qū)域、加溫區(qū)域。解決區(qū)是對(duì)清潔間VOCs進(jìn)行吸附的區(qū)域；再造區(qū)是對(duì)附著在沸石上的有機(jī)物進(jìn)行高溫分析和去除的區(qū)域；制冷區(qū)是將因高溫而不變暖的再造區(qū)冷卻至凈化室氣體的區(qū)域；而加溫區(qū)則是根據(jù)制冷區(qū)的加熱氣體加熱至再造溫度的區(qū)域。1地鐵線(xiàn)路為科學(xué)研究這3條線(xiàn)路的VOCs濃度，正在安裝沸石轉(zhuǎn)。

　　對(duì)輪式設(shè)備在維修前、更新改造后全過(guò)程中及更新改造后運(yùn)行環(huán)節(jié)的變化情況，進(jìn)行了分析檢驗(yàn)。

　　每行設(shè)置3個(gè)校驗(yàn)點(diǎn)(Social1、2、3)，校驗(yàn)結(jié)果見(jiàn)圖8。研究表明，在未安裝沸石機(jī)械設(shè)備的情況下，1,2,3地鐵線(xiàn)路的VOCs均值分別為(6.60,5.32,5.65)×10-6；在運(yùn)行環(huán)節(jié)上，VOCs均值分別為(2.16,2.09,1.62)×10-6；運(yùn)行環(huán)節(jié)上，1,2,3地鐵線(xiàn)路的VOCs均值分別為(2.16,2.09,1.62)×10-6；運(yùn)行環(huán)節(jié)上，1,2,3地鐵線(xiàn)路的VOCs均值分別為(2.09,1.62)×10-6。

　　本文對(duì)中國(guó)一家TFT-LCD生產(chǎn)制造企業(yè)的各個(gè)生產(chǎn)車(chē)間的VOCs濃度分布進(jìn)行了科學(xué)研究。研究表明，TFT-LCD陣列車(chē)間VOCs濃度均值最大，CF合成箱車(chē)間次之；VOCs濃度在陣列和CF車(chē)間VOCs濃度最大，且在生產(chǎn)車(chē)間VOCs濃度分布比較平衡；生產(chǎn)車(chē)間VOCs濃度受生產(chǎn)能力、膠料成分差異、機(jī)械設(shè)備密封性、加工工藝主要參數(shù)差異等因素的影響，在車(chē)間VOCs的主要來(lái)源是化學(xué)物質(zhì)，如PGMEA、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚、二乙二醇甲藥醚等。

　　在TFT-LCD生產(chǎn)制造車(chē)間，VOCs濃度下降的關(guān)鍵所在在于操縱桿操作，加了藥沸石吸盤(pán)等機(jī)械設(shè)備后，VOCs減少在生產(chǎn)制造車(chē)間實(shí)際效果顯著，能去除大約60.71%~71.33%的工業(yè)廢氣，為事后提出減少VOCs的對(duì)策提供了基本的理論依據(jù)。